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氮化硅陶瓷具有高溫機械強度高、耐磨，耐酸、碱腐蝕等優異性能，因此在要求高溫、抗腐蝕、抗機械磨損等特殊工程場合如航空航天、石油、化工等採用氮化硅陶瓷制品零件具有重要意義。
氮化硅陶瓷的主要性能如下表3~1所示
表3~1 氮化硅陶瓷的主要性能指標
| 性能 |
反應燒結氮化硅 |
氣壓燒結氮化硅 |
熱壓燒結氮化硅 |
| 體積密度(g/cm3) |
2.6~2.8 |
3.3~3.4 |
3.2~3.4 |
| 抗彎強度（Mpa） |
250~300 |
600~800 |
1080 |
| 斷裂韌性（Mpa/M1/2） |
2.8~3.2 |
6.5~7.05 |
9.1 |
| 硬度（HV）（Gpa） |
8~10 |
13~15 |
15~17 |
| 導熱係數（W/m.k） |
8~12 |
18~20 |
23~25 |
| 熱膨脹係數×10-6/℃（0~1400℃） |
2.7 |
3.2 |
2.95~3 |
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